氮化鎵清洗機(jī)
清洗工件為氮化鎵半導(dǎo)體芯片材料,清洗規(guī)格2寸25片裝每籃,4寸25片裝每籃,濕法制程清洗工藝,控制方式半自動,全自動可選。全自動控制設(shè)備機(jī)臺總體結(jié)構(gòu):機(jī)械運行機(jī)構(gòu)裝置與機(jī)臺上方(可拆卸);機(jī)臺前方為清洗工作區(qū)域,機(jī)臺后上方為電器和氣路布置區(qū)域,后下方為液路布置區(qū)域;運行穩(wěn)定,適合于生產(chǎn)線各清洗工藝
氮化鎵清洗機(jī)