顯影清洗機(jī)
適用對象：硅片 、藍(lán)寶石基片，2-12inch，2-4 cassette/ Batch，25 Pcs/cassette；
適用產(chǎn)業(yè)：半導(dǎo)體照明（LED）、半導(dǎo)體材料、半導(dǎo)體分立器件、集成電路、MEMS、有機(jī)發(fā)光二級管（OLED）等；
控制模式：手動控制模式、自動控制模式；
制程應(yīng)用：濕法清洗顯影制程；
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顯影清洗機(jī)
詳細(xì)信息 顯影清洗機(jī)
適用對象：硅片 、藍(lán)寶石基片，2-12inch，2-4 cassette/ Batch，25 Pcs/cassette；
適用產(chǎn)業(yè)：半導(dǎo)體照明（LED）、半導(dǎo)體材料、半導(dǎo)體分立器件、集成電路、MEMS、有機(jī)發(fā)光二級管（OLED）等；
控制模式：手動控制模式、自動控制模式；
制程應(yīng)用：濕法清洗顯影制程； |