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半自動(dòng)GAN/GaAs外延片清洗機(jī)
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最后更新： 2016-04-27 10:53
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詢價(jià)
公司基本資料信息

北京華林嘉業(yè)科技有限公司

企業(yè)會(huì)員第15年
資料未認(rèn)證
保證金未繳納
  • 上次登錄 2014-06-10 •
  • 耿彪 (先生)   經(jīng)理
 
 
產(chǎn)品詳細(xì)說(shuō)明

半自動(dòng)GAN/GaAs外延片清洗機(jī)  
※ 控制模式: 手動(dòng)控制模式   自動(dòng)控制模式。
※ 清洗規(guī)格：2 inch ,4 cassette/Batch, 25 Pcs/cassette；   4 inch，2 cassette/ Batch，25 Pcs/cassette；
※  工藝說(shuō)明:手動(dòng)方式實(shí)現(xiàn)放件，取件，槽體間傳送件。
※ 設(shè)備形式: 室內(nèi)放置型。
※ 腐蝕工藝自動(dòng)補(bǔ)藥液保證了工藝槽在運(yùn)行過(guò)程中濃度的穩(wěn)定性；
※  工藝參數(shù)（溫度，時(shí)間，DIW水清洗模式、時(shí)間可調(diào)）手動(dòng)由觸摸屏界面可設(shè)定；
※  機(jī)臺(tái)前方為清洗工作區(qū)域，機(jī)臺(tái)后上方為電器和氣路布置區(qū)域，后下方為液路布置區(qū)域。
※  藥液供給及補(bǔ)液方式:分體式CDS自動(dòng)供液系統(tǒng)
※ DI槽配有在線式水質(zhì)檢測(cè)裝置；
※  配有分體式廢液回收系統(tǒng)；
※ 強(qiáng)排風(fēng)風(fēng)通道：￠200mm×1；排風(fēng)量：1500m3/h×2  
 
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